二探針單晶硅及多晶硅測試儀的工作性能

二探針單晶硅及多晶硅測試儀　型號：GL-1

本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況，以便硅材料的切割和加工。

    為適應大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展，特別是計算機芯片、內(nèi)存的發(fā)展，越來越多的使用到了大直徑、高純度、均勻度更高的單晶硅材料。目前，在美國、德國等先進的工業(yè)國家，均采用了二探針法，使用二探針檢測儀來測量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。

儀器符合美國ASTM 《“F391-77"關于二探針測量硅單晶試驗方法》的標準，是一種新型的半導體電阻率測試儀，適合半導體材料廠和器件廠用于二探針法精確測量單晶硅和多晶硅半導體棒狀材料的體電阻率，從而進一步判斷半導體材料的性能，指導和監(jiān)視工藝操作，也可以用來測量金屬材料的電阻，儀器具有測量精度高、穩(wěn)定性好、結構緊湊、使用方便、造型美觀等特點。也可以配四探針測試頭作常規(guī)的四探針法測量硅晶體材料。

    儀器分為儀表電氣控制箱、測試臺、探頭三部分，儀表電氣控制箱由高靈敏度直流數(shù)字電壓表、高抗干擾高隔離性能的電源變換裝置、高穩(wěn)定高精度恒流源和電氣控制部分組成。測量結果由大型LED數(shù)字顯示，零位穩(wěn)定、輸入阻抗高，并設有自校功能。在棒狀材料使用二探針法測試時，具有系數(shù)修正功能，從面板輸入相應的修正系數(shù)，可以直接讀出電阻率，使用方便。測試臺結構新穎，造型美觀，可以方便地固定好大小任意尺寸的樣品，并可以作逐點選擇步進測量，也可以自由選擇固定位置測量，電活動自如，具備鎖定裝置，方便重復測量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅，測試探頭能自動升降，探針為碳化鎢材料，配置寶石軸承，具有測量精度高、游移率小、耐磨、使用壽命長特點。同時探頭壓力恒定并且可調(diào)整，以適合不同的材料。

儀器主要技術指標：

1.可測硅材料尺寸：

     直徑Φ25~Φ150mm滿足ASTM F-397的技術要求。

     長度：100~1100mm.

2.測量方式：軸向測量，每隔10mm測量一點。

3.測量電阻率范圍：10-3~103Ω-cm,可擴展到105Ω-cm。

4.數(shù)字電壓表：

    （1）量    程：0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

    （2）測量誤差：±0.3%讀數(shù)±2字

    （3）輸入阻抗：0.2mV和2mV檔>106Ω

                  20mV檔及以上>108Ω

    （4）顯    示：31/2位LED數(shù)字顯示，范圍0~1999。

5.恒流源：

    （1）電流輸出：直流電流0~100mA連續(xù)可調(diào)。

    （2）量    程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

    （3）電流誤差：±0.3%讀數(shù)±2字

6.二探針測試裝置：

    （1）探針間距：4.77mm

    （2）探針機械游移率：0.3%

    （3）探針壓力：0~2kg可調(diào)

    （4）測試探頭自動升降

7.二探針測試臺

    （1）測試硅單長度：100-1100mm

    （2）測試點間距：10mm

    （3）測試臺有慢、快二種移動速度，快速移動速度為1000mm/分（均勻

手動）

8.電源：交流220V±10%，50HZ±2HZ，消耗功率<150W